半导体蚀刻机台控温

电子氟化液

HOSCIEN HT-1200S、HT-1600S、HT-3283、HT-4043、ES-7200TKS 电子氟化液是新一代环保产品，它具有： ①零ODP值（臭氧破坏值）； ②低温室效应值； ③良好的电绝缘性； ④无毒无害，空气中不具可燃性（高安全性）； ⑤满足SGS RoHS与卤素测试要求； ⑥卓越的物理性能与低环境影响。是长期稳定的HCFC、FC产品替代品，广泛应用于半导体/电子行业（蚀刻、电性能测试设备）及电力行业（控温冷媒）。

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半导体蚀刻机台控温

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电子氟化液

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基本特性

安全性

无闪点、不可燃
毒性较低
较高的热稳定性

环保性

ODP为0
较低的GWP值
超低的水溶解度

适用性

大多数的金属不会出现腐蚀
良好的湿润性和流平性
适合高低温的应用场景

物理性能

性能	HT-3283	单位
沸点	128	℃/1atm
表面张力	14.6	dynes/cm
液体密度	1.8	Kg/L,1atm,25℃
凝固点	-50	℃
水的溶解度(20℃)	20	ppm
酸度	中性
闪点	无	℃
燃点	无
空气中燃程	无
分解温度	>300
臭氧损害潜值ODP	0
汽化潜热值	78	KJ/Kg
热传导控温率	0.066	W/m-K
粘度	0.75	25℃,cst
介电强度	>40	25℃,25mm间隙，KV
内阻	10¹⁵	25℃ Q